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如何有效的降低真空系统漏气率?

发布日期:2019-03-30 作者:admin 点击:

真空系统的结构:


新都区南光康跃真空设备厂真空系统的结构是影响真空系统密封性和系统漏气率的关键,真空系统的结构合理与否,将直接影响系统的密封性和系统的漏气率。

1、尽可能地避免出现小曲率半径的死角,要光滑过渡查刹于打麈抛光、清洗清扫。

新都区南光康跃真空设备厂2、抽空管道、送气管道等与真空室相连接的管道,采用圆弧过渡,使气路畅通无阻,但要考虑清洗清扫的方便性。

新都区南光康跃真空设备厂3、认真设计真空室内各种连接件的结构,使气路畅通,避免气路堵塞。

4、打磨抛光真空系统内表面,表面越光亮就越不易气体吸附,越容易获得真空。

5、尽可能减小真空室的体积,缩短管路系统。

真空系统

密封形式的选择:

密封形式可根据所需真空度的高低及实际工作需要选择密封形式,对于人工晶体生长设备,一般需要的真空度在lO-3Pa以下,因此,无需采用金属密封。以TDR--70型单晶炉为例,我们选择磁性流体密封作为旋转动密封,选择高精度大伸缩量的焊接波纹管进行移动密封,小直径轴的旋转密封选用“O”型密封圈或威尔逊密封,各种静密封则采用“0”型密封圈密封形式,直径压缩比为25%。


密封件材质的选用:真空度在lO-3Pa以下的真空系统,密封材料一般选择橡胶密封圈即可满足要求。但是,考虑到实际工作条件的需要(真空室内温度可达2300oC,密封部位进行水冷后,其温度在80oC左右,个别处温度可达100oC以上)。所以,要选择比较理想的密封圈材料。


用于真空密封橡胶材料,除要求具有光洁表面、无划伤、无裂纹外,还要求有低的渗透率和出气率,良好的耐热性耐油性,同时要有一定的强度、硬度和弹性等。


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相关标签:真空系统,真空泵,真空机组

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